OES儀器使用極耐磨損的鎢電極用于火花分析模式。移動式OES儀器可以使用電弧模式,基于分析應用的要求不同,可選擇銀電極或銅電極。由于電極在激發狀態下受到等離子體的侵蝕,會產生磨損。當電極出現明顯的磨損時,應及時更換電極。有時也可以對已磨損的電極通過研磨的方法進行修復。研磨時要確保電極頂部呈90度角。如果電極經過多次研磨變短,無法達到合適的電極高度時,則必須應進行更換。